sps旋涂处理器 S150X-ST-PP支持6英寸圆片和4英寸方形基板旋涂

S150X-ST-PP

POLOS®旋涂处理器全塑结构，使用耐用的天然聚丙烯（NPP）材质制造，支持6英寸圆片和4英寸方形基板，适用于多种工艺。

主要特点：

多功能： 一台设备可用于嵌入式安装或台面式使用

安全设计： 液体过滤器、盖锁以及真空传感器

高精度： 多方向、间接无刷驱动，转速达12,000 RPM，具备马达归位功能

用户友好： 触摸屏操作

配套部件：

真空吸盘： 表面直径 Ø45mm / 真空通道 Ø36mm

真空碎片适配器： 表面直径 Ø50mm / 真空通道 Ø10mm

在当今快速发展的环境中，半导体生产企业面临着持续的压力，需要在保持高清洁度标准的同时，生产更小、更智能、更高效的微芯片。

sps凭借其在晶圆处理和湿法工艺设备方面的专业知识，提供半导体工艺产品解决方案。

其中包括：

POLOS系列，专注于光刻和镀膜应用的工具。产品包括旋涂机、加热板、喷涂机、激光刻写机等。

晶圆处理系统 (WHS)系列，通过定制晶圆处理和集成解决方案，提升制造能力。产品包括分选机、传送机、对准器、真空吸棒产品、光掩模处理、金属盒、预制器等。

ESPRO系列，湿法工艺解决方案，提供过滤器、加热器、泵、流量计以及改进产品。